AMO

AMO：高性能紫外线纳米压印抗蚀剂

UV纳米压印是一种机械成型技术。由石英或具有 3D 浮雕的柔性弹性体制成的模板与基板顶部旋涂的 UV 固化抗蚀剂紧密接触。由于压印抗蚀剂的低粘度，在室温下施加低压印压力会在几秒钟内填充特征。抗蚀剂通过模板背面的紫外光硬化。最后，分离基板和模板。复制的抗蚀剂浮雕可以进一步通过RIE工艺转移到基板中或用作功能元件。

基于在纳米压印领域的广泛长期经验，AMO 开发了一种可商用的 UV 固化抗蚀剂 (AMONIL®) 和匹配的粘合促进剂 (AMOPRIME)。

AMO 的 NANOIMPRINT RESIST AMONIL®：

AMO GmbH 在一系列项目中从事 UV-Nanoimprint 光刻技术的研究和开发超过 15 年。基于这些丰富的经验，我们能够设计 AMO并定期对其进行改进。该抗蚀剂将出色的涂层和压印性能与出色的图案保真度和合理的等离子体稳定性相结合。

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